Павел Кабиков. М�� а�� ш��, - к�� ч�� р�� с�� в п�� к�� ф��, с э��

Natural Sciences / Engineering Sciences / Engineering other

Submitted on: May 05, 2020, 06:55:01

Description: для п�Eочного уде�Eж�.ния з�.хв�.ченного п�Eедмет�., �.э�Eодин�.мическими з�.хв�.т�.ми в сост�.ве гибких �.втом�.тических п�Eоизводственных комплексов фотолитог�E�.фии т�Eебуется дост�.точно высокое д�.вление воздух�., по�Eой достиг�.ющее нескольких �.тмосфе�E. А зн�.чит не обойтись без мик�Eоглушителей �.э�Eодин�.мического шум�..

The Library of Congress (USA) reference page : http://lccn.loc.gov/cn2013300046.

To read the article posted on Intellectual Archive web site please click the link below.
PK_5_ia_microsilencers_in_litography_as_complex_solution.pdf