Павел Кабиков. М а ш, - к ч р с в п к ф, с э


Natural Sciences / Engineering Sciences / Engineering other

Submitted on: May 05, 2020, 06:55:01

Description: для пEочного удеEж.ния з.хв.ченного пEедмет., .эEодин.мическими з.хв.т.ми в сост.ве гибких .втом.тических пEоизводственных комплексов фотолитогE.фии тEебуется дост.точно высокое д.вление воздух., поEой достиг.ющее нескольких .тмосфеE. А зн.чит не обойтись без микEоглушителей .эEодин.мического шум..

The Library of Congress (USA) reference page : http://lccn.loc.gov/cn2013300046.

To read the article posted on Intellectual Archive web site please click the link below.

PK_5_ia_microsilencers_in_litography_as_complex_solution.pdf



© Shiny World Corp., 2011-2020. All rights reserved. To reach us please send an e-mail to support@IntellectualArchive.com